مشخصات قابل جستجو در محفظه ها و اجزای خلاء

محفظه ها و اجزای خلاء مخازن تخصصی هستند که می توانند محیط فرآیند خلاء بالا را برای تولید فیلم های نازک، میکروالکترونیک، اپتیک و مواد حفظ کنند.