مشخصات قابل جستجو در دوغاب های سطحی مکانیکی شیمیایی (CMP).

دوغاب های مسطح مکانیکی شیمیایی (CMP) از مواد شیمیایی فعال سطحی و دانه های میکرو ساینده در یک پراکندگی مایع تشکیل شده اند.