مشخصات قابل جستجو در مواد لایه نازک

مواد لایه نازک مواد و مواد شیمیایی با خلوص بالا مانند گازهای پیش ساز، اهداف کندوپاش یا رشته های تبخیر هستند که برای تشکیل یا اصلاح رسوبات و بسترهای لایه نازک استفاده می شوند.