مشخصات قابل جستجو در تجهیزات لیتوگرافی چاپ مدار

تجهیزات لیتوگرافی، الگوهای مدار یا دستگاه را با استفاده از یک ماسک طرح‌دار و یک پرتو نور یا الکترون به روی یک بستر منتقل می‌کنند تا به طور انتخابی یک لایه مقاوم به نور را در معرض دید قرار دهند. سیستم‌های اندازه‌شناسی روکش، ماسک‌های الگو یا شبکه‌های شبکه را تراز می‌کنند.