ابزارهای غیر تماسی بافت سطح را با اسکن نوری سطح با نور یا لیزر اندازه گیری می کنند. ابزارهای نوری یا مبتنی بر نور نیز ممکن است از مثلث یا تداخل سنجی برای اندازه گیری یا گرفتن مشخصات سطح استفاده کنند. به طور معمول، دستگاه های غیر تماسی می توانند یک نمایه دو بعدی (2 بعدی) یا خطی، و همچنین اندازه گیری های توپوگرافی سه بعدی (3 بعدی) یا ناحیه ای را ارائه دهند. پارامترهای زبری و موج دوبعدی یا سه بعدی از داده های پروفایل محاسبه می شوند.

سایر فناوری های فهرست نشده یا اختصاصی.

پروفیلومترهای سطح، پروفیل‌های سطح، ناهمواری، موج‌بودن و سایر پارامترهای پوشش یا بافت سطح را با اسکن یک قلم مکانیکی در سراسر نمونه یا از طریق روش‌های غیر تماسی اندازه‌گیری می‌کنند.

ابزارها می توانند نمایه های سه بعدی (3 بعدی) یا سطحی را ثبت کنند یا پارامترهای سه بعدی یک سطح را اندازه گیری کنند.

هم محوری اندازه گیری یک محور به محور دیگر است. دو روش مختلف وجود دارد: DIN و ISO. Deutsches Institut für Normung (DIN) یک سازمان ملی آلمان برای استانداردسازی است. ISO سازمان بین المللی استاندارد است. روش هم محوری DIN از قطر یک استوانه با طول تعریف شده استفاده می کند. محور استوانه هم محور با محور مبنا است که به طور کامل مرکز صفحاتی را که محور استوانه مورد ارزیابی را تشکیل می دهند، در بر می گیرد. روش ISO Coaxiality از قطر استوانه ای استفاده می کند که با محور مبنا هم محور است و فقط محور استوانه تحت ارزیابی را محصور می کند.

ابزارها می توانند استوانه ای بودن اجزا را اندازه گیری کنند. در یک استوانه کامل، تمام نقاط روی سطح یا روی سطح یا چرخش از محور مرکزی فاصله دارند. از آنجایی که یک قسمت استوانه‌ای شکل را می‌توان در امتداد محور خود کج کرد یا تغییر شکل داد، استوانه و گرد بودن را نمی‌توان تنها از طریق اندازه‌گیری قطر بررسی کرد. استاندارد ISO برای اندازه گیری استوانه در دست توسعه است.

ابزارهایی با قابلیت تشخیص آثار باقیمانده از لایه‌ها یا فرورفتگی‌ها (عیب‌های گودی) یا ایرادهای هادی طرح‌دار یا پد روی سطح زیرلایه یا ویفر پس از پرداخت، CMP، اچ کردن یا سایر فرآیندها. ابزارهای با طبقه‌بندی خودکار نقص (ADC) دارای پردازشگرهای تصویر و الگوریتم‌های نرم‌افزاری هستند که می‌توانند نوع عیب ویفر یا دستگاه را تعیین کنند.

ابزارها قادر به اندازه گیری تفاوت مورد نیاز برای ارزیابی ویژگی های دیفرانسیل و مخروطی هستند. مخروطی یک تغییر باریک یا دیفرانسیل قطر در امتداد بعد محوری یا طول یک قطعه استوانه‌ای است.

صافی تمام نقاط روی سطح یک قطعه را در یک صفحه قرار می دهد. مسطح بودن اغلب با مقایسه سطح یک قطعه با صفحه مرجع یا تخت نوری تعیین می شود. معمولاً از یک مرجع حداقل مربعات یا صفحه خط مرکزی استفاده می شود. نواحی بالا و پایین صفحه مرجع مساوی هستند و در حداقل فاصله قرار می گیرند. بالاترین اندازه گیری نرمال قله به دره نشانی از مسطح بودن قطعه را ارائه می دهد. صافی را می توان با روش محاسبه حداقل زون نیز تحلیل کرد. داده های سطحی که باید تجزیه و تحلیل شوند توسط دو صفحه موازی با حداقل جداسازی محصور می شوند. سپس سطح صافی یا خطای صافی با میزان جدایی بین دو صفحه نشان داده می شود. همچنین از سیستم های گرد برای اندازه گیری صافی سطوح بالا یا پایین استفاده می شود. آنها گیج را می چرخانند تا انحراف قلم در جهت عمودی باشد.

خروج از مرکز نسبتی است که شکل یک مقطع مخروطی را توصیف می کند. نسبت فاصله بین کانون ها به طول محور اصلی معیاری برای خروج از مرکز ارائه می دهد. به عنوان مثال، یک دایره را می توان به عنوان یک بیضی با خروج از مرکز صفر توصیف کرد. خروج از مرکز یک اصطلاح برداری با قدر و جهت است که برای توصیف موقعیت مرکز یک نیمرخ نسبت به یک نقطه مبنا استفاده می شود. هم مرکز بودن دو برابر خروج از مرکز است و قطر دایره ای است که توسط مرکز مؤلفه که حول محور مبنا می چرخد ترسیم شده است. اگر یک مرکز، محور مشترک یا مبدأ مشترک داشته باشند، یک ویژگی قطعه یا قطعه با قسمت دیگری در یک مجموعه یا ویژگی قطعه متحد است.

قطعات گرد یا استوانه ای را می توان از نظر محتوای هارمونیک آنها با تحلیل فوریه ارزیابی کرد. هر سطحی را می توان به عناصر هارمونیک مجزا تقسیم کرد. توانایی تجزیه و تحلیل هارمونیک ها به منظور پیش بینی عملکرد یک جزء یا کنترل فرآیند تولید یک جزء بسیار مفید است. تغییرات محتوای هارمونیک یا شکل موج‌های مکرر هستند که در یک چرخش 360 درجه رخ می‌دهند. فرکانس های هارمونیک معمولاً به صورت موج در هر دور (UPR) توصیف می شوند. ترتیب ها، طول موج ها یا ضرایب فوریه متفاوت محتوای هارمونیک می تواند در قطعات رخ دهد. به عنوان مثال، هارمونیک سوم دارای سه موج با طول موج مساوی در 360 درجه است. هارمونیک های مرتبه پایین به اندازه کافی بزرگ هستند تا در اندازه گیری های فرم کمک کنند. موج‌های 2 تا 15 به عنوان ضرایب لوبینگ نامیده می‌شوند. تغییرات هارمونیک در سطح بافت سطحی نیز در مقادیر 15 UPR یا بیشتر دیده می شود.

ابزار می تواند پارامترهای ترکیبی را که ترکیبی از پارامترهای فاصله و دامنه هستند اندازه گیری یا ارائه دهد.

ابزار قادر به تشخیص الگوها یا لایه های سطحی است. Lay یک بافت سطحی با الگوی جهتی غالب به دلیل ماشینکاری، سنگ زنی یا سایر روش های دیگر است.

موازی سازی فاصله یکسانی بین دو صفحه یا سطح یک قطعه را توصیف می کند. اندازه گیری های مخروطی یک استوانه نشان دهنده موازی بودن سیلندر است. موازی مخروطی یا سیلندر با استفاده از دو خط حداقل مربع ساخته شده از طریق دو طرف عمودی پروفیل ارزیابی می شود.

گردی ایده آل حالتی است که در آن تمام قسمت های یک دایره از نقطه مرکزی یا محور یکسان یا مساوی فاصله داشته باشند. خارج از گرد بودن انحراف شعاعی نیمرخ واقعی از گردی ایده آل است. گرد بودن با استفاده از روش‌های حداقل شعاع (MRS)، مرکز حداقل مربعات (LSC) و حداقل دایره محاطی (MIC) اندازه‌گیری می‌شود. در روش MRS، گردی با ارزیابی جداسازی دو دایره متحدالمرکز عمود بر سطح قطعه که فقط شامل سطح اندازه‌گیری شده است، اندازه‌گیری می‌شود. در روش LSC، یک دایره و مرکز حداقل مربعات نظری با سطح واقعی قطعه مقایسه می‌شود. در روش MIC کوچک‌ترین دایره‌ای که فقط نمایه اندازه‌گیری شده را شامل می‌شود ساخته می‌شود و مرکز نیم‌نمای این حداقل دایره محاط شده مشخص می‌شود. اندازه گیری گردی برای ارزیابی و کنترل کیفیت شفت ها، بلبرینگ ها، سیلندرها یا سایر اجزای دقیق استفاده می شود. تغییرات گردی یا خارج از گرد بودن با تعیین حداکثر انحراف به داخل نمایه قطعه از حداقل دایره محاطی شده اندازه گیری می شود.

Runout با تعیین اختلاف شعاعی بین دو دایره مرجع متحدالمرکز که برای محصور کردن نیمرخ قسمت یا سطح استوانه ای تحت ارزیابی ترسیم شده اند، اندازه گیری می شود. دایره مرجع داخلی با نزدیکترین نقطه یا عمیق ترین دره روی نیمرخ منطبق است. دایره مرجع بیرونی با دورترین نقطه یا بالاترین دره روی پروفیل منطبق است. Runout همچنین به عنوان قرائت نشان دهنده کل (TIR) شناخته می شود، حرکت نشانگر کامل که در اطراف محیط یک رول یا قسمت استوانه ای در هر نقطه معین در طول قطعه اندازه گیری می شود. پارامتر runout اثر خطای فرم و تمرکز را ترکیب می‌کند تا عملکرد پیش‌بینی‌شده‌ای را هنگام چرخش حول یک مبنا ارائه دهد. تجزیه و تحلیل خروجی در تجزیه و تحلیل اجزای ماشین های دوار مانند شفت، یاتاقان ها، دوک ها و موتورهای هارد دیسک (HDD) مفید است. برای تجزیه و تحلیل کامل، هر دو مؤلفه غیر تناوبی و متناوب سیگنال خروج باید کمیت شوند.

ابزار می تواند مشخصات زبری را اندازه گیری کند یا پارامترهای زبری مانند میانگین زبری (Ra)، ریشه میانگین مربع زبری (RMS / Rq)، ارتفاع زبری (Rz) را ارائه دهد. پروفیل های زبری، تغییرات سطحی در مقیاس ریزتر هستند که پس از فیلتر شدن تغییرات شکل و موجی از پروفیل خام باقی می مانند. نمونه هایی از پارامترهای زبری عبارتند از: Ra، Rq، Rt، Rp، Ry، Rku، Rsk، RSm، Rz، Rλq، RTp، RHTp، Rlo، RΔq، RPC، RzJIS و R3z.

ویژگی سطح یا خط یک قطعه مربع است اگر سطح با یک خط مرجع یا صفحه زاویه راست باشد. مربع یا عمود بودن اندازه گیری تغییر سطح قطعه از زاویه 90 درجه به سطح مرجع است. مربع بودن را می توان با تعیین انحراف سطح قطعه از دو صفحه مرجع محصور کننده که 90 درجه هستند به صفحه مرجع یا محور مبنا اندازه گیری کرد. زاویه دید را می توان با تعیین انحراف سطح قطعه از دو صفحه مرجع محصور که یک زاویه خاص به صفحه مرجع یا محور مبنا هستند اندازه گیری کرد. گیج‌های زاویه، بلوک‌های زاویه سنج، مربع‌ها و نقاله‌ها برای ارزیابی زاویه یا مربع استفاده می‌شوند، اما نه با همان درجه دقت تجهیزات اندازه‌شناسی فرم.

پارامترهای فاصله، تغییرات قله و دره افقی یا جانبی یک پروفیل را در امتداد سطح اندازه گیری می کنند. ابزارها می توانند پارامترهای فاصله گذاری مانند تعداد پیک (Pc) یا میانگین فاصله پیک (Sm) را اندازه گیری یا ارائه دهند. سایر پارامترهای فاصله گذاری عبارتند از: Pc، تراکم قله، فاصله قله، S، Sm، قله ها، تراکم قله، فاصله قله ها، دره ها، تراکم دره ها و فاصله دره ها.

ابزارها قادر به اندازه گیری ابعادی ارتفاع پله از ویژگی های نمونه یا فیلم های رسوب شده هستند.

صاف بودن تمام نقاط یک لبه یا ویژگی را در یک خط قرار می دهد. اگر یک خط یا ویژگی سطح یک قطعه با یک خط مرجع مساوی فاصله داشته باشد، ویژگی قطعه مستقیم است. انحراف در فاصله بین دو صفحه یا سطح جزئی برای تعیین موازی بودن اندازه گیری می شود. راستی را می توان با استفاده از روش های حداقل زون یا حداقل مربعات اندازه گیری کرد. با روش حداقل مربعات، یک مرجع یا خط مرکزی بر روی سطح یا ویژگی نصب می شود. نواحی بالا و پایین خط مرجع مساوی هستند و در حداقل فاصله قرار می گیرند. بالاترین اندازه گیری قله به دره نرمال تا خط مرجع حداقل مربعات، نشانه ای از صاف بودن قطعه را ارائه می دهد. صافی را می توان با حداقل ناحیه نیز تحلیل کرد روش محاسبه. داده های سطحی که باید تجزیه و تحلیل شوند توسط دو خط موازی با حداقل تفکیک محصور می شوند. سطح صافی یا خطای صافی با میزان جدایی بین دو خط نشان داده می شود.

ابزارها قابلیت اندازه گیری ابعادی ضخامت نمونه یا فیلم را دارند.

ابزارها می توانند پارامترهای موجی مانند میانگین موج (Wa) یا ارتفاع موج (Wt) را اندازه گیری یا ارائه دهند. موجی بودن تغییر سطح در مقیاس یا طول موج بزرگتر از زبری سطح است، اما در طول موج یا مقیاس کوتاهتر از تغییرات شکل. بافت سطح از ترکیبی از تغییرات موجی و زبری تشکیل شده است. مشخصات زبری بر روی تغییرات موجی قرار گرفته است. نمونه هایی از پارامترهای موجی عبارتند از: Wa، Wq، Wt، Wp، Wv، Wku، Wsk، WSm، Wz، WzJIS، Wλq، WΔq، WTp، WHTp، WLo، WPC و W3z.

ابزارها قادر به اندازه گیری کمان و تار نمونه های نازک، بسترها، ویفرها یا دیسک ها هستند. کمان در یک نمونه آب یا نازک یک اعوجاج عمود بر سطح از یک صفحه صاف و صاف است. Warp تغییر پیچشی سطح یک قطعه از یک صفحه صاف و صاف است.

ابزارها می توانند پارامترهای فهرست نشده یا سفارشی دیگری را برای یک کاربرد صنعتی خاص اندازه گیری یا ارائه دهند.

ابزارها پارامترهای بافت سطح ISO را ارائه می دهند. اندازه گیری پروفایل، فیلتر کردن و پردازش داده ها مطابق با الزامات سازمان استاندارد بین المللی (ISO) یا Euronorm (EN) و رویه های مرتبط مانند ISO 4287:1997 تعریف شده است.

ابزارها پارامترهای بافت سطح DIN را ارائه می دهند. اندازه گیری پروفایل، فیلتر کردن و پردازش داده ها مطابق با استانداردهای Deutsches Institut für Normung، یک سازمان آلمانی برای استانداردسازی تعریف شده است. در بسیاری از موارد، سیستم استانداردهای DIN با استانداردهای ISO یا EN جایگزین شده است.

ابزارها پارامترهای بافت سطح JIS را ارائه می دهند. اندازه گیری پروفایل، فیلتر کردن و پردازش داده ها مطابق با استانداردهای صنعتی ژاپن (JIS) تعریف شده است.

سایر استانداردهای فهرست نشده، تخصصی یا اختصاصی.

ابزارها سطوح محصولات خودرو یا وسایل نقلیه را اندازه گیری یا نظارت می کنند.

ابزارها برای اندازه گیری پوشش ها، لایه های آبکاری شده، رسوبات اسپری یا لایه های نازک طراحی یا مناسب هستند. پارامترهای پوشش و ویژگی های اندازه گیری شده می تواند شامل ضخامت پوشش، تغییرات ضخامت، زبری، بافت و عیوب پوشش باشد.

ابزارها فرآیندهای لایه نازک صفحه نمایش صفحه تخت (FPD) یا سطوح حاصل را اندازه گیری یا نظارت می کنند.

ابزارها سطوح قطعات الکترونیکی مانند بردهای مدار چاپی (PCB)، کنتاکت های الکتریکی یا سایر وسایل الکتریکی را اندازه گیری یا نظارت می کنند.

ابزارها برای ارزیابی اجزای مکانیکی مانند یاتاقان‌ها، بوشینگ‌ها، محورها، دوک‌ها، مهر و موم‌ها، بادامک‌ها و میل لنگ، چرخ دنده‌ها و شفت‌های شیاردار یا کلیددار طراحی یا مناسب هستند.

ابزارها برای اندازه‌گیری سطوح و پوشش‌های ایمپلنت‌ها، پروتزها، دستگاه‌های پزشکی، ابزارهای جراحی و سایر محصولات بیوتکنولوژی، یا افزایش و/یا اطمینان از سازگاری، عملکرد و کیفیت در کاربردهای پزشکی طراحی شده‌اند.

ابزارها برای اندازه گیری دستگاه ها، حسگرها و اجزای میکرو الکترومکانیکی (MEMS) طراحی شده اند.

ابزارها برای تحقیق یا اندازه گیری ساختارهای مواد، پودر، الیاف، لایه های نازک یا مدارهای الکترونیکی در محدوده نانومتری (10-9 متر) (<100 نانومتر) طراحی شده اند.

ابزارها برای بازرسی یا نظارت بر فرآیند اجزای نوری یا فوتونیک، لایه‌های نازک نوری، و سطوحی مانند لنزها، فیبرهای نوری، ماسک‌ها، پوشش‌های ضد انعکاس و فیلم‌های بازتابنده استفاده می‌شوند.

ابزارها برای اندازه‌گیری یا نظارت بر تولید محصول در ماشین‌کاری دقیق و تجهیزات سنگ‌زنی طراحی یا مناسب هستند.

ابزار مناسب برای بازرسی یا اندازه گیری ویفرهای لخت ساخته شده از سیلیکون یا مواد دیگر طراحی شده اند. این ابزارها تار، کمان، صافی، تغییرات ضخامت کل (TTV)، زبری، تغییرات موجی و سایر عیوب را بررسی می کنند.

ابزارها برای اندازه‌گیری یا نظارت بر لایه‌های نازک یا سطوح تولید شده برای حافظه یا اجزای ذخیره‌سازی داده مانند رسانه‌های مغناطیسی، دیسک‌های درایو نوری یا هدهای خواندن/نوشتن استفاده می‌شوند.

ابزارها برای اندازه‌گیری ویژگی‌های سایش، و برای انجام ارزیابی‌ها برای مطالعات سایش طراحی یا مناسب هستند.

سایر برنامه های کاربردی فهرست نشده، تخصصی یا اختصاصی.

ابزارهای روی زمین و مستقل واحدهای بزرگتری هستند که به یک وظیفه بازرسی یا تجزیه و تحلیل خاص در کاربردهای تولیدی یا تحقیقاتی اختصاص داده شده اند.

ابزارهای دستی یا قابل حمل را می توان بلند کرد و به مکانی برای اندازه گیری قطعات در کف کارخانه یا روی سطوح ماشین های بزرگ در مزرعه منتقل کرد.

محصولات به گونه ای طراحی شده اند که بر روی یک ماشین ابزار یا دستگاه خط تولید برای نصب ابزار، اندازه گیری مداوم و/یا نظارت بر فرآیند نصب شوند. به طور معمول، قطعات به طور خودکار یا نیمه اتوماتیک به سر اندازه گیری سطح ارائه می شوند.

سایر سیستم های نصب یا بارگیری فهرست نشده.

ابزار را می توان برای انتقال داده یا کنترل آزمایشی به شبکه یا رایانه شخصی (PC) متصل کرد.

دستگاه از نمایشگرهای عددی یا ویژه برنامه استفاده می کند.

ابزارها می توانند تحلیل تبدیل فوریه سریع (FFT) را انجام دهند. تجزیه و تحلیل FFT در تشخیص نویز دوره ای یا هارمونیک در یک پروفایل مفید است. الگوریتم FFT به سرعت شکل دیجیتال تبدیل فوریه را محاسبه می کند. تبدیل فوریه در پردازش و تجزیه و تحلیل طیف ها، سیگنال ها و پروفایل ها بسیار مفید است.

ابزارها می توانند چگالی طیف توان (PSD) یا تحلیل فرکانس را انجام دهند. روش‌های PSD برای نظارت بر تغییرات فرآیند در تولید نوری، مانند اثرات سایش ابزار، پچ پچ ابزار و نرخ تغذیه استفاده می‌شوند.

ابزارها دارای نرم افزار کنترل فرآیند آماری یکپارچه یا اختیاری (SPC) یا قابلیت های نرم افزار SPC هستند.

داده ها به صورت ویدئویی از طریق لوله های پرتو کاتدی (CRT)، نمایشگرهای کریستال مایع (LCD) یا سایر اشکال چند خطی ارائه می شوند.

سایر انواع نمایشگر فهرست نشده