اتاق های تمیز
به روز رسانی شده در ۱۴۰۳/۱۰/۱۷ زمان مطالعه 10 دقیقه
اطلاعات اتاق های تمیز
نمایش تمام سازندگان اتاق های تمیز
اتاقهای تمیز محیطهای بدون آلودگی هستند که در آنها تولید و مونتاژ با فناوری پیشرفته انجام میشود. آنها از اتاق های بسیار کوچک، به نام ریزمحیط، تا اتاق های بزرگ مقیاس، به نام اتاق رقص، متغیر هستند. فناوری اتاق تمیز در طیف وسیعی از صنایع از جمله مونتاژ نیمه هادی ها، بیوتکنولوژی، داروسازی، هوافضا، غذا، تجهیزات پزشکی و بیمارستان ها استفاده می شود.
شاخص
تعدادی از جنبه های مهم وجود دارد که باید هنگام تعیین نوع اتاق تمیز با برنامه مورد نیاز در نظر گرفته شود. این شامل کلاس تمیزی، نوع ساخت، و ویژگیهای خاصی مانند کنترل ESD، گذرگاهها و قسمت روپوش است.
کلاس اتاق تمیز
کلاس تمیزی استانداردی است که توسط صنعت کنترل آلودگی تعیین می شود. این طبقه بندی بر اساس غلظت ذرات است. هر کلاس تعیین شده نشان دهنده حداکثر مقدار ذرات با اندازه شناخته شده است که در واحد حجم در اتاق تمیز وجود دارد. دو سازمان حاکم وجود دارد که طرحهای طبقهبندی را برای رمزگشایی کلاس اتاق تمیز ایجاد کردهاند: سازمان بینالمللی استاندارد (ISO) و استانداردهای فدرال ایالات متحده .
سازمان بین المللی استاندارد (ISO)
ISO 14644-1 استانداردی است که توسط ISO ایجاد شده است که روش طبقه بندی اتاق تمیز را به یکی از چندین کلاس توصیف می کند. این استاندارد به طور دوره ای مورد بازنگری و اصلاح قرار می گیرد تا نیازهای صنعت را برطرف کند. کلاس های اتاق تمیز ISO با فرمول زیر تعریف می شوند:

جایی که:
C n = حداکثر تعداد ذرات در متر مکعب که برابر یا بزرگتر از اندازه D است.
N = شماره کلاس ISO، مضرب 0.1 که کمتر از 9 است
D = اندازه ذرات بر حسب میکرومتر (μm)
استانداردهای فدرال ایالات متحده
FED-STD-209 یک استاندارد دولت فدرال ایالات متحده است که برای طبقه بندی تمیزی اتاق تمیز استفاده می شود. عدد کلاس استفاده شده به حداکثر تعداد ذرات بزرگتر از نیم میکرون اشاره دارد که در یک فوت مکعب هوای اتاق تمیز مجاز است. برای مثال یک اتاق تمیز کلاس 100 حاوی بیش از 100 ذره بزرگتر از نیم میکرون در یک فوت مکعب هوا نخواهد بود. شش کلاس و معادل ISO عبارتند از کلاس 1 (ISO 3)، کلاس 10 (ISO 4)، کلاس 100 (ISO 5)، کلاس 1000 (ISO 6)، کلاس 10000 (ISO 7) و کلاس 100000 (ISO 8).

انواع
پنج سبک ساخت اصلی برای اتاق های تمیز وجود دارد (اگرچه سبک های سفارشی موجود است). آنها هاردوال معمولی، مدولار، نرم افزار مدولار، محیط کوچک و محیط میکرو هستند.
ساخت و ساز معمولی رایج ترین نوع است و این سازه ها عموماً سازه های دائمی هستند.
اتاق های تمیز مدولار در محل از اجزای از پیش برش داده شده و مونتاژ شده مانند دیوارها، پایه های شبکه سقفی و سایر اجزا ساخته می شوند.
اتاقهای تمیز مدولار دیوار سخت ، استحکام و دوام یک اتاق مستقل را فراهم میکنند. دیوارهای اتاق تمیز به جای پارچه، از مواد جامد هستند.
اتاقهای تمیز ماژولار سافتوال از پارچه ساخته میشوند، یا از نوارهای آویزان آزاد یا محکم روی یک قاب کشیده شدهاند.
محیط های کوچک ، محیط های تمیز محلی هستند که در کاربردهای تولید نیمه هادی استفاده می شوند. آنها در اطراف یک ابزار خاص یا فقط در داخل یک ابزار ایجاد می شوند تا از ویفر نیمه هادی در برابر قرار گرفتن در معرض اتمسفر محافظت کنند. ویفرها از یک ابزار مجهز به محیط مینی به ابزار دیگر در ظروف مهر و موم شده منتقل می شوند و فقط در معرض جوی داخل محیط مینی تمیز قرار می گیرند.
محیط های میکرو شبیه به محیط های کوچک هستند، اما کوچکتر هستند. آنها برای محافظت از خود ویفر یا بخشی از آن به جای محصور کردن ابزار تولید استفاده می شوند.
امکانات
کنترل تخلیه الکترواستاتیک (ESD) - برخی از اتاق های تمیز با کنترل تخلیه الکترواستاتیک (ESD) در دسترس هستند . اتاق تمیز با کنترل ESD میتواند تخلیه الکتریکی را اندازهگیری و مهار کند و در نتیجه از انتقال سریع، خود به خود و معمولاً کنترل نشده یک بار الکتریکی بین دو رسانا ناشی از یک میدان الکترواستاتیک قوی جلوگیری کند.
گذرگاه های اتاق تمیز - گذرگاه های اتاق تمیز شامل یک محفظه قفل هوای کوچک با دو در است و به تجهیزات و پرسنل اجازه می دهد تا وارد اتاق تمیز شوند و در عین حال از آلودگی ذرات محیط تمیز جلوگیری می کند. آنها می توانند از یک اتاقک، دوش هوا یا تونل تشکیل شوند. گذرگاههای اتاق تمیز در آزمایشگاهها یا تأسیسات تولیدی که به اتاقهای تمیز و/یا استریل برای تحقیق، ساخت، مونتاژ یک محصول نیاز دارند، بسیار مهم هستند. اتاقهای تمیز اجازه میدهند که اتاق تمیز بماند، زیرا محصول یا کالا به داخل یا خارج از اتاق منتقل میشود.

منطقه لباس پوشیدن - اتاق های تمیز مجهز به قسمت های روپوش امکان محافظت بیشتر در برابر آلودگی را فراهم می کند. قسمت روپوش به عنوان یک اتاق تمیز میانی عمل می کند که در آن پرسنل می توانند با تجهیزات حفاظت شخصی مناسب (PPE) استفاده کنند که از کاربر و همچنین سطوح و مواد در معرض در اتاق تمیز محافظت می کند. قسمت های روپوش معمولاً از طریق گذرگاهی با دوش هوا به اتاق تمیز متصل می شوند که هر گونه آلودگی باقیمانده را از پرسنل کاملاً مناسب قبل از ورود به اتاق تمیز می شوید.

منبع