کاست های قطعات

اطلاعات کاست های قطعات

نمایش تمام سازندگان کاست های قطعات

کاست های قطعات برای حمل و نگهداری ویفر در طول عملیات تولید نیمه هادی استفاده می شود. همچنین به عنوان حامل ویفر نامیده می شود، آنها برای نگهداری یا حمل چندین ویفر با اندازه یکسان طراحی شده اند و در طیف وسیعی از مواد برای پشتیبانی از کاربردهای خاص مانند پردازش حرارتی در دسترس هستند.

یک عصای خلاء معمولاً برای برداشتن و قرار دادن ویفرها در کاست ها استفاده می شود که سپس برای انتقال ویفرها بین اتاق های پردازش و سایر ظروف ذخیره سازی استفاده می شود. کاست های سفارشی ممکن است برای ارتباط با یک سیستم خاص یا ظرف ذخیره سازی طراحی شوند.

ابعاد

کاست های قطعات را می توان با تعدادی از ابعاد مهم مانند طول، عرض و ارتفاع کلی و همچنین ابعاد خاصی مانند:

• بعد D1 - فاصله از انتهای کاست تا خط مرکزی اولین جیب

• فاصله جیب - فاصله بین خطوط مرکزی هر جیب ویفر

• صاف جیبی - عرض هر جیب ویفر در باریکترین فاصله

حامل های ویفر به گونه ای طراحی شده اند که برای طیف وسیعی از اندازه های ویفر از 2.5 اینچ تا 450 میلی متر مناسب باشند.

امکانات

همانطور که فناوری ساخت نیمه هادی برای تولید دستگاه های پیچیده تر پیشرفت کرده است، طراحی کاست ویفر سرعت خود را حفظ کرده است. ساخت نیمه هادی اکنون شامل سطوح اتوماسیون بالاتر، زمان و توان عملیاتی بیشتر ابزار، دمای فرآیند بالاتر، لایه های ماسک اضافی و مواد نیمه هادی مرکب است. در پاسخ، حامل‌های ویفر به گونه‌ای طراحی شده‌اند که قابلیت‌های حرارتی بهتر، محافظت در برابر تخلیه الکترواستاتیک، کاهش گازهای خروجی در دماهای بالا، و پایداری ابعادی و ذرات را بهبود بخشند.

کاست های ویفر برای کاربردهای مختلف طراحی شده اند و ممکن است دارای ویژگی های زیر باشند:

• قابلیت نگهداری از یک تا چندین ویفر، معمولاً تا 25 تا برای حمل و نقل یا ذخیره سازی.

• پیکربندی دیوار جانبی را باز کنید تا امکان دسترسی آسان برای جابجایی ویفر فراهم شود.

• قرار دادن بریدگی‌های مسیر در مرکز کاست، و همچنین پین‌ها و سوراخ‌های روی ریل بالایی برای عملکرد قابل اعتماد با سیستم‌های کنترل خودکار مواد و ابزارهای پردازش.

• پیکربندی های دیوار انتهایی دارای دسته یا فلنج برای سیستم های جابجایی مواد.

• گزینه‌های شناسایی مانند برچسب‌های رنگی شناسه، برچسب‌های فرکانس رادیویی ، دارندگان کارت، برچسب‌های بارکد و علامت‌گذاری لیزری .

• پوشش های سطحی مانند آنودایز، آلودین، تزئینی، آبکاری نیکل الکترولس یا پوشش سخت.

مواد

کاست های قطعات از مواد مختلفی ساخته می شوند که برای کاربردهای نیمه هادی خاص طراحی شده اند.

کاست های قطعات از جنس استنلس استیل می توانند دمای پخت نیمه هادی بالا تا 450 درجه سانتی گراد را تحمل کنند. آنها کاملا رسانا، بدون تغییر شکل، غیر آلوده کننده، بدون گاز هستند، اجازه توزیع یکنواخت گرما را می دهند و دارای درجه سختی راکول بسیار نرمتر از سیلیکون هستند.

برای جلوگیری از آسیب ویفر ناشی از تجمع و تخلیه الکتریسیته ساکن، پلاستیک ها اغلب با مواد دیگری مانند کربن ترکیب می شوند تا اتلاف استاتیکی بهتری داشته باشند. مواد پلاستیکی شامل پلی اترترکتون (PEEK) با فیبر کربن یا نانولوله های کربنی و پلی پروپیلن و پودر کربن است.

کاست‌های طراحی‌شده برای کاربردهای پردازش شیمیایی مرطوب ممکن است از موادی مانند پرفلوروآلکوکسی آلکان (PFA) استفاده کنند که در برابر تخریب ناشی از مواد شیمیایی تهاجمی مقاوم است.

منبع

globalspec.com