دستگاه های اچ

اطلاعات دستگاه های اچ و اچینگ

نمایش تمام سازندگان اتر و ماشین های اچینگ

اچرها و دستگاه های اچ با استفاده از محلول شیمیایی اسیدی یا قلیایی، مواد را از سطح قطعه جدا می کنند. اچرها و ماشین های اچ که به عنوان ماشین های فرز شیمیایی نیز شناخته می شوند، از مواد پوشش دهنده برای محافظت از برخی از سطوح سطح قطعه استفاده می کنند که حذف انتخابی مواد یا الگوبرداری را فراهم می کند. اچینگ معمولاً برای ایجاد بردهای مدار چاپی، نیمه هادی ها، سلول های خورشیدی، دستگاه های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) و طیف گسترده ای از قطعات سفارشی استفاده می شود. دستگاه های اچ و اچ شامل طیف گسترده ای از تجهیزات برای ارائه خدمات متنوع از جمله اچ فلز، حکاکی شیشه و سنگ زنی می باشد. حکاکی مرطوب، پلاسما و یون. اچ پلیمری؛ و پولیش الکتریکی اچرها و دستگاه های اچ از ترکیبی از رسانه های خورنده برای حذف شیمیایی مواد و مواد پوشاننده برای محافظت از مناطق خاصی از اچ ها استفاده می کنند. نمونه هایی از محیط های خورنده عبارتند از اسیدها یا ترشی ها، نمک های خورنده مانند کلرید آهن، محلول های سوزاننده یا قلیایی، گاز یا پلاسما خورنده و حلال ها. نوع مواد خورنده و پوشاننده مورد استفاده بستگی به کاربرد اچ دارد. به عنوان مثال، برای تولید ویفرهای نیمه هادی، اپراتورها از یک ماده پوشاننده حساس به نور به نام مقاوم در برابر نور و یک خورنده قوی مانند اسید کلریدریک برای حک کردن سطح ویفر استفاده می کنند. فتورزیست ها ماسک هایی هستند که بر اساس قرار گرفتن در معرض نور در ماده اچانت محلول یا نامحلول می شوند. این نوع اچرها و ماشین های اچ از فرآیندهای اچینگ مرطوب با استفاده از خورنده ها و اچ های مبتنی بر مایع استفاده می کنند. سازندگان نیمه هادی نیز از اچ پلاسما برای الگوبرداری از ویفرها استفاده می کنند. اترهای پلاسما و ماشین های اچ از گازهای بسیار پرانرژی در محیطی تحت فشار استفاده می کنند که باعث می شود ذرات باردار خنثی از گازها با سطح ویفر واکنش دهند. دیگر دستگاه‌های اچ‌کننده و اچ‌کننده‌های تخصصی عبارتند از دستگاه‌های آسیاب یونی یا دستگاه‌های حکاکی که از یون‌های گازهای نجیب برای جدا کردن اتم‌ها از بستر استفاده می‌کنند. اچرهای یون واکنشی و عمیق واکنش یون و دستگاه های اچ برای ایجاد ویژگی های بسیار عمیق و باریک بر روی سطح ویفر نیمه هادی استفاده می شود. انواع دیگری از اچرها و دستگاه های اچ وجود دارند که قطعات و اجزاء را تمیز می کنند، رسوب یا اکسیدها را از بین می برند و سطوح را برای پوشش، رسوب فلز یا الگوسازی آماده می کنند. آنها برای تولید قطعات برای صنایع الکترونیک، اپتیک، فوتونیک، هوافضا، خودروسازی و صنایع دریایی استفاده می شوند. اچرها و ماشین‌های اچ می‌توانند الگوها را روی سطوح طیف وسیعی از قطعات مانند فیلترها، صفحه‌نمایش‌ها، دیسک‌های رمزگذار، میکروهیترها و قاب‌های سربی مورد استفاده برای نیمه‌رساناها ماشین‌کاری کنند. برخی اچرهای تخصصی و ماشین‌های اچینگ، اچ فتوشیمیایی یا الکتروشیمیایی یا پولیش الکتریکی اجزا را انجام می‌دهند. در تکنیک های الکتروشیمیایی یا پولیش الکتروشیمیایی، جریانی برای تسریع فرآیند حذف مواد اعمال می شود. در اچینگ فتوشیمیایی، از ماسک‌های لایت کیور برای محافظت از نواحی خاص در برابر محلول اچ استفاده می‌شود که امکان طرح‌بندی سطح را فراهم می‌کند.اچ فتوشیمیایی معمولاً برای ساخت قطعات فلزی گیج نازک مانند مهر و موم و واشر، مدارهای مایکروویو، حسگرها، فنرها، اجزای سلول سوختی و حتی جواهرات استفاده می شود.

منبع

globalspec.com