محفظه ها و اجزای خلاء

نمایش تمام سازندگان محفظه ها و اجزای خلاء

محفظه ها و اجزای خلاء مخازن تخصصی هستند که می توانند محیط فرآیند خلاء بالا را برای تولید فیلم های نازک، میکروالکترونیک، اپتیک و مواد حفظ کنند. محفظه ها معمولاً از یک سری اجزا مانند صفحه پایه، یقه ورودی و چاه سرویس تشکیل شده اند که در کنار هم یک محفظه کامل را ایجاد می کنند. اتاقک های خلاء پیچیده اغلب بر اساس سفارشی طراحی و ساخته می شوند تا نیازهای کاربردی کاربر نهایی را برآورده کنند. جعبه‌های دستکش، محفظه‌های جوشکاری، جعبه‌های گاززدایی یا محفظه‌های آنالیز سطح، محفظه‌های خلاء هستند که برای کاربردهای خاص از پیش مهندسی شده‌اند. محفظه‌های گاززدایی و جعبه‌های دستکش معمولاً در محدوده خلاء ناهموار تا کم برای جوشکاری، گاززدایی پلاستیک‌ها یا ورقه‌های کامپوزیتی، یا محصور کردن اجزاء کار می‌کنند.

اجزاء

تعدادی اجزای مختلف برای یک محفظه خلاء وجود دارد.

صفحات پایه آداپتورهای فلنجی بزرگی هستند که بخش پایینی یک محفظه را به پشته یا سیستم پمپاژ متصل می کنند. آنها معمولاً دارای یک پورت یا اتصال فلنج در مرکز هستند که ممکن است به یک سیستم پمپاژ خلاء متصل شود.

محفظه‌های جعبه‌ای یا گاززدایی ، محفظه‌های جعبه‌ای شکل هستند که معمولاً دارای یک در دسترسی لولایی برای کاربردهایی هستند که نیازی به خلاء زیاد ندارند، مانند خروج گاز از نمونه‌هایی از جمله پلاستیک، خون، چسب، مواد شیمیایی یا مایعات دیگر.

چاه های سرویس اجزایی هستند که یک مرحله گذار بین پشته یا سیستم پمپاژ و مخزن زنگ یا محفظه را فراهم می کنند.

چاه های پایه ویژگی های هر دو صفحه پایه و یقه ورودی را یکپارچه می کنند. آنها عملکرد هر دو جزء را فراهم می کنند در حالی که یک مهر و موم خلاء را با یک اتصال جوش جایگزین می کنند.

محفظه های تخصصی شکل ها یا دهانه های پورت سفارشی یا طراحی شده برای یک فرآیند تولید خاص یا برنامه تحلیلی هستند. تجزیه و تحلیل سطح یا محفظه های جهانی اغلب نقطه شروع برای طراحی محفظه پیکربندی شده سفارشی هستند.

جعبه های دستکش و محفظه های جوش محفظه های تخصصی برای ذوب دستی یا تجربی، جوشکاری یا پردازش تیتانیوم، زیرکونیوم یا سایر مواد حساس به جو هستند.

یقه های پیشرو جزء انتقالی بین صفحه پایه و محفظه هستند. یقه‌های ورودی ارتفاع بیشتر و پورت‌های ورودی بیشتری را فراهم می‌کنند.

محفظه‌های قفل بار، محفظه‌های تخصصی و کوچکی هستند که بر روی یک محفظه اصلی ساخته می‌شوند تا امکان جابجایی نمونه‌ها، ویفرها یا اجزای فرآیند از اتمسفر به خلاء بالا را بدون شکستن خلاء اصلی فراهم کنند.

ویژگی ها

ویژگی های مشترک محفظه ها و اجزای خلاء عبارتند از: انتخاب فلنج و اتصالات، سطوح صیقلی یا برقی، دهانه ها یا پورت های ورودی، بخاری ها و گزینه های خنک کننده.

برنامه های کاربردی

تجهیزات خلاء برای گاز زدایی، جوشکاری و ساخت لایه های نازک، نیمه هادی ها، میکروالکترونیک / ویفر، اپتیک و مواد ویژه استفاده می شود.

منبع

globalspec