ابزار اندازه گیری نیمه هادی

نمایش تمام سازندگان ابزار اندازه گیری نیمه هادی

ابزار اندازه گیری نیمه هادی برای بازرسی خطی ویفر و لایه نازک پس از پردازش نیمه هادی طراحی شده اند. امروزه تولید نیمه هادی از استانداردهای بسیار سخت گیرانه پیروی می کند و باید ابعاد بسیار کوچکی را در خود جای دهد. فرآیندهای کنترل کیفیت (QC) و فرآیندهای بازرسی نیمه هادی منجر به توسعه ابزارهای اندازه گیری نیمه هادی با دقت بالا شده است. بسیاری از این دستگاه ها و سیستم ها از ترکیبی از فناوری های لیزر، نوری و پرتو الکترونی استفاده می کنند. در نتیجه، این ابزار اندازه گیری نیمه هادی می تواند به بهبود کیفیت و خروجی در هر مرحله از تولید کمک کند. با استفاده از ابزار اندازه گیری نیمه هادی، تولیدکنندگان می توانند بازرسی نیمه هادی ها را تسهیل کنند، هزینه های تولید را کاهش دهند و چرخه توسعه محصول را کوتاه کنند.

انواع ابزار اندازه گیری نیمه هادی

انواع مختلفی از ابزار اندازه گیری نیمه هادی وجود دارد. مثالها عبارتند از:

• پروبرهای ویفر

• ایستگاه های تصویربرداری

• بیضی سنج ها

• CD-SEM

یک کاوشگر ویفر برای آزمایش یک ویفر نیمه هادی قبل از جدا شدن به قالب ها یا تراشه های جداگانه استفاده می شود. بیضی‌سنج خواص و سطوح لایه‌های نازک را با اندازه‌گیری ویژگی‌های مواد مانند ضخامت لایه، ثابت‌های نوری، زبری سطح، ترکیب، و ناهمسانگردی نوری تعیین می‌کند. یک میکروسکوپ الکترونی روبشی با ابعاد بحرانی یا CD-SEM، برای اطمینان از پایداری فرآیند تولید استفاده می‌شود. این ابزار اندازه گیری نیمه هادی را می توان برای نظارت بر ویژگی هایی مانند خط، فضا، و زمین استفاده کرد. گردی یا متمرکز بودن؛ یا اندازه گیری عمق یا دیواره جانبی.

ابزار اندازه گیری نیمه هادی عبارتند از:

• آسیاب های یونی

• سیستم های CV

• تداخل سنج ها

• مغناطیس سنج واحدهای اندازه گیری منبع (SME).

• سیستم های نوری و تصویربرداری

• پروفیلومترها

هنگامی که مناطق وسیعی از مواد باید به طور یکنواخت نازک باشند، از آسیاب یونی برای تهیه مواد فله ناهمگن استفاده می شود. یک سیستم CV ویژگی‌های ظرفیت در مقابل ولتاژ (CV) و ظرفیت در برابر زمان (Ct) دستگاه‌های نیمه‌رسانا را اندازه‌گیری می‌کند. تداخل سنج برای اندازه گیری فواصل بر حسب طول موج و تعیین طول موج منابع نور خاص استفاده می شود. دو نوع اصلی از ابزار اندازه گیری نیمه هادی SMU وجود دارد: واحدهای اندازه گیری ظرفیت (CMU) و واحدهای پیکوآمتر متر (PAU).

انواع دیگر ابزار اندازه گیری نیمه هادی عبارتند از:

• بازتاب سنج ها

• پروب های مقاومتی

• سیستم پراش الکترونی با انرژی بالا (RHEED).

• پراش سنج اشعه ایکس

بازتاب سنج ها یا رادیومترها میزان بازتاب و درخشندگی یک سطح را اندازه گیری می کنند. پروب های مقاومتی برای اندازه گیری مقاومت لایه های نازک استفاده می شود. سیستم‌های RHEED برای اندازه‌گیری یا نظارت بر ساختار بلوری یا جهت‌گیری کریستالی لایه‌های نازک اپیتاکسیال سیلیکون یا مواد دیگر استفاده می‌شوند. پراش سنج های اشعه ایکس ابزارهای اندازه گیری نیمه هادی هستند که برای تعیین بدون ابهام ساختار کریستالی، جهت گیری کریستال، ضخامت لایه و تنش پسماند در ویفرهای سیلیکونی، لایه های همپایی یا سایر بسترها به کار می روند.

استانداردها

تامین کنندگان ابزار اندازه گیری نیمه هادی در سراسر ایالات متحده و در سراسر جهان قرار دارند. آنها با انواع استانداردهای کیفیت و الزامات نظارتی مطابقت دارند. در اروپا، ابزار اندازه گیری نیمه هادی دارای علامت CE هستند تا نشان دهند که محصولات مطابق با دستورالعمل های اتحادیه اروپا (EU) هستند. گروه هایی مانند سازمان بین المللی استاندارد (ISO) نیز دستورالعمل هایی را ارائه می دهند که تامین کنندگان به آن پایبند هستند.

منبع

globalspec