تجهیزات پردازش MEMS

نمایش تمام سازندگان تجهیزات پردازش MEMS

تجهیزات پردازش MEMS برای ایجاد سنسورها و ویفرهای سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) استفاده می شود. تجهیزات پردازش MEMS شامل ماشین آلات و سیستم هایی برای ساخت و ریز ماشینکاری دستگاه های MEMS است که معمولاً در پردازش مواد نیمه هادی استفاده می شود. تجهیزات پردازش ویفر، سیستم های میکروالکترو مکانیکی را از طریق ریزماشین کاری توده یا سطحی می سازد. ریزماشین کاری فله شامل حکاکی یک ساختار در بستر ویفر سیلیکونی است. ریزماشین کاری سطحی شامل رسوب گذاری و اچ کردن لایه ها یکی روی دیگری است.

برنامه های کاربردی

تجهیزات پردازش MEMS ممکن است در موارد زیر استفاده شود:

• تولید نیمه هادی های تجاری 

• تنظیمات آزمایشگاه دانشگاه

• تاسیسات ساخت ویفر

• امکانات تحقیق و توسعه MEMS

مشخصات

تجهیزات پردازش MEMS شامل:

• ابزارهای حکاکی سیلیکونی

• آسیاب های ویفر

• ماشین آلات صیقل دادن و پرداخت

• تجهیزات مسطح سازی

تجهیزات تولید MEMS برای تولید طیف گسترده‌ای از سنسورهای MEMS مانند شتاب‌سنج‌ها و ژیروسکوپ‌های مورد استفاده در کاربردهای حسگر اینرسی، مانند نشانگرهایی برای کنترل باز شدن کیسه‌های هوای خودرو استفاده می‌شود. ژئوفون ها نوع دیگری از سنسورهای MEMS هستند. ژئوفون در کاربردهای سنجش لرزه ای یا برای نظارت بر ارتعاش ماشین آلات و پیش بینی خرابی قطعات استفاده می شود. از سنسورهای MEMS در پیس میکرها و سنسورهای فشار و دما نیز استفاده می شود.

ویژگی ها

ساخت ویفر شامل ایجاد ویفرهای نازک از کریستال های سیلیکونی است که به طور خاص برای استفاده در تولید نیمه هادی رشد می کنند. ویفرهای MEMS از یک لایه سیلیکون یا بستر دیگری تشکیل شده است که لایه به لایه ساخته شده و با استفاده از فوتولیتوگرافی، فرآیند اچینگ مرطوب که از اسید استفاده می کند، یا روش اچ خشک که ممکن است از گاز یا پلاسما یونیزه برای شکل دادن به دستگاه میکرو استفاده کند، اچ می شود. روی ویفر تجهیزات پردازش MEMS می توانند انواع ساختارهای پیچیده را ایجاد کنند، از جمله اجزایی که دارای قطعات متحرک هستند یا می توانند دستگاه های نوری را در خود جای دهند. تجهیزات پردازش MEMS برای ساخت انواع دیگر میکرو ماشین‌ها، از جمله سوئیچ‌های نوری، هدهای چاپ جوهرافشان، و محرک‌ها برای عملکرد اجزای خواندن/نوشتن استفاده می‌شود. تامین کنندگان تجهیزات پردازش MEMS با انواع استانداردهای کیفیت مطابقت دارند و در سراسر ایالات متحده و در سراسر جهان واقع شده اند.

منبع

globalspec