مانیتورهای لایه نازک
به روز رسانی شده در ۱۴۰۳/۶/۴ زمان مطالعه 10 دقیقه
نمایش تمام تولیدکنندگان مانیتورهای لایه نازک
مانیتورهای لایه نازک برای تجزیه و تحلیل و/یا کنترل میزان رسوب لایه نازک، ترکیب و خواص استفاده می شود.
نمایشگرهای لایه نازک مانند میکروبالانس کریستال کوارتز، بیضی‌سنج‌ها یا طیف‌سنج‌ها برای نظارت درجا برای کنترل نرخ رسوب لایه نازک یا ترکیب در طول پردازش لایه نازک استفاده می‌شوند. یک مانیتور لایه نازک می تواند دما، سرعت رشد و ضریب شکست را در فرآیندهای اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE) و رسوب فاز بخار فلز-آلی (MOCVD) اندازه گیری کند. بازتاب سنجی دو طول موج در هندسه معمولی یا شکاری به نمایشگرهای فرآیند لایه نازک اجازه می دهد تا نرخ رشد ضخامت کمتر از 10 نانومتر را در وضوحی بهتر از 1 نانومتر اندازه گیری کنند.
یک بیضی‌سنج ضریب شکست و ضخامت لایه‌های نازک نیمه شفاف را اندازه‌گیری می‌کند. مانیتورهای لایه نازک مانند بیضی‌سنج‌ها را می‌توان برای اندازه‌گیری لایه‌هایی به ضخامت ۱ نانومتر تا چند میکرون استفاده کرد. بیضی‌سنج‌ها برای تعیین دقیق ضخامت لایه‌های نازک، شناسایی مواد و لایه‌های نازک و مشخص کردن سطوح استفاده می‌شوند. یک سنسور جرم بسیار حساس، یک دستگاه میکروبالانس کریستال کوارتز (QCM) قادر به اندازه گیری تغییرات جرم در محدوده نانوگرم است. این نوع مانیتورهای فیلم نازک، دستگاه‌های پیزوالکتریکی هستند که از یک صفحه نازک کوارتز با الکترودهای چسبانده شده به هر طرف صفحه ساخته شده‌اند. نمونه هایی از ابزارهای اندازه گیری QCM کریستال های کوارتز، مانیتورهای رسوب لایه نازک و کنترل کننده های لایه نازک هستند.
طیف سنج ابزاری است که طول موج تابش الکترومغناطیسی را اندازه گیری می کند. هنگام مطالعه سیارات، دانشمندان از این نوع نمایشگرهای لایه نازک برای جمع آوری طول موج های جداگانه نور استفاده می کنند. نور دریافتی از یک سیاره به وسیله یک آینه یا چند آینه از هم جدا می شود و سپس به طول موج های جداگانه تقسیم می شود. به این ترتیب، طیف‌سنج‌ها به دانشمندان کمک می‌کنند تا تشخیص دهند که یک سیاره از چه چیزی تشکیل شده است. بازتاب سنج یک پیرانومتر رو به پایین است که برای اندازه گیری تابش خورشیدی منعکس شده استفاده می شود. مانیتورهای لایه نازک مانند بازتاب سنج را می توان برای مشخص کردن بازتاب اکسیدهای دروازه فوق نازک و لایه های نازک مقاوم در برابر اشعه ماوراء بنفش عمیق (UV) استفاده کرد. انعکاس پراش الکترون پرانرژی (RHEED) فرآیندی است که در آن الکترون‌ها در یک زاویه چرا برای یک سطح تحلیل شده می‌رسند. این شبیه به ارائه اطلاعات ساختاری به عنوان پراش نوترون است.
منبع