تداخل سنج

تداخل سنج ها فاصله را بر حسب طول موج اندازه گیری می کنند و طول موج منابع نور را تعیین می کنند. آنها از دو یا چند آینه مسطح برای جدا کردن یا برداشتن پرتوهای منبع نور مانند لیزر، لامپ یا ستاره استفاده می کنند. سپس پرتوها برای تداخل با یکدیگر ترکیب می شوند. نتیجه، کشف نوارهای متناوب یا حاشیه های روشن و تاریکی است. این حاشیه ها در جایی که پرتوها با هم جمع می شوند روشن و در جایی که یکدیگر را خنثی می کنند تیره هستند. پیکربندی نوری تداخل سنج به تعیین محل حاشیه ها کمک می کند. تداخل‌سنج‌های فیزو یا تداخل‌سنج‌های صفحه تصویر از یک مرجع نور استفاده می‌کنند و مسیر نور را با فاصله نابرابر آزمایش می‌کنند. تداخل سنج های Fabrey-Pero دستگاه های تنظیم فرکانس هستند که از خواص تداخل بین دو سطح مجاور، مسطح و موازی استفاده می کنند. تداخل سنج های Michelson دارای یک آینه نیمه نقره ای با زاویه 45 درجه نسبت به پرتو ورودی هستند. نیمی از نور به صورت عمود منعکس شده و از یک پرتو شکاف بازتاب می شود. نیمه دیگر از آن عبور می کند و از شکاف دهنده پرتو دوم منعکس می شود. تداخل سنج های Twyman-Green از نظر تقسیم کننده پرتو و آرایش آینه شبیه به تداخل سنج های Michelson هستند، اما از نظر روشنایی متفاوت هستند. تداخل سنج Michelson از یک منبع نور گسترده استفاده می کند. تداخل سنج Twyman-Green از یک منبع نقطه ای تک رنگ استفاده می کند. نوری که از آینه عبور می کند باید از یک صفحه جبران کننده شیبدار نیز عبور کند تا این واقعیت که پرتو دیگر به جای یک بار سه بار از شیشه آینه عبور می کند، جبران شود.
 
مشخصات تداخل سنج ها شامل وضوح، زوم، اندازه دیافراگم، منبع نور و طول موج لیزر است. وضوح حداقل تغییرات ابعادی قابل تشخیص، تغییرات صافی، موقعیت و زبری سطح را اندازه گیری می کند. محدوده زوم تداخل سنج معمولاً به صورت 2x، 4x یا 7x مشخص می شود. اندازه دیافراگم دریچه ای در تداخل سنج است که نور از آن عبور می کند. اندازه دیافراگم می تواند ثابت یا قابل تنظیم باشد و می تواند نقطه کانونی یا فاصله کاری یا تقابل را تغییر دهد. سه انتخاب برای نوع لیزر وجود دارد: دی اکسید کربن (CO2)، هلیوم نئون (HeNe) و هلیوم زنون (HeXe). لیزرهای CO2 از مخلوطی از دی اکسید کربن، نیتروژن (N2) و هلیوم (He) برای تولید خروجی مداوم نور لیزر در طول موج 10.6 میکرومتر استفاده می کنند. با لیزر HeNe، محیط فعال مخلوطی از هلیوم و نئون است. به طور معمول، تداخل‌سنج‌هایی که از لیزر HeNe استفاده می‌کنند در برنامه‌های تراز، ضبط، چاپ و اندازه‌گیری استفاده می‌شوند. لیزرهای HeXe از مخلوط هلیوم و زنون استفاده می کنند. تداخل سنج ها از نظر تعداد محور (تک یا چندگانه)، جهت (عمودی یا افقی) و ویژگی های خاص نیز متفاوت هستند. برخی از تداخل سنج ها را می توان با کنترل از راه دور کار کرد یا قابلیت زوم پیوسته دارند. برخی دیگر دوربینی با وضوح بالا برای برنامه های ضبط تصویر دارند. تداخل سنج هایی که می توانند با رابط کامپیوتری کنترل یا نظارت شوند نیز موجود هستند.

نمایش تمام سازندگان تداخل سنج

منبع

globalspec.com