نرم افزار طراحی به کمک رایانه (TCAD)

نرم افزار طراحی به کمک کامپیوتر (TCAD) برای مدل سازی و شبیه سازی فرآیند ساخت (اما نه رفتار) دستگاه های نیمه هادی استفاده می شود. نرم افزار TCAD برای بهینه سازی مراحل فرآیند ساخت نیمه هادی مانند انتشار و کاشت یون استفاده می شود و شامل انواع عملکردهای مختلف برای شبیه سازی میکروساخت. مثال‌ها شامل مدل‌های دو بعدی (2 بعدی) فرآیندهای ساخت مانند اکسیداسیون حرارتی و اچ کردن مواد، و همچنین شبیه‌سازی دستگاه میکروالکترونیک با عناصر فیزیکی و مدل‌ها است.

نمایش همه تولیدکنندگان نرم افزار طراحی به کمک رایانه (TCAD).

علاوه بر شبیه‌سازی دستگاه نیمه‌رسانا، نرم‌افزار طراحی به کمک کامپیوتر (TCAD) ممکن است برای مدل‌سازی فناوری نانو استفاده شود. فروشندگان نرم افزارهای طراحی به کمک کامپیوتر (TCAD) در سرتاسر آمریکای شمالی و در سرتاسر جهان قرار دارند و گاهی اوقات برنامه های کاربردی تخصصی و اختصاصی را ارائه یا توزیع می کنند.

انتخاب نرم افزار طراحی به کمک رایانه (TCAD)

انتخاب نرم افزار طراحی به کمک کامپیوتر (TCAD) نیازمند درک فرآیند ساخت نیمه هادی است که برنامه برای شبیه سازی آن طراحی شده است. به عنوان مثال، نرم افزار TCAD برای ساخت فرآیند مرطوب نیمه هادی معمولاً برای مدل سازی مراحل اچ، شستشو، پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP) و مراحل پوشش چرخشی طراحی می شود. پردازش مرطوب، اکسید را از مناطقی از ویفر که فاقد الگوی لیتوگرافی هستند، جدا می کند، بنابراین موانع اکسیدی برای جلوگیری از آلودگی سیلیکون زیرین در طی فرآیندهای بعدی باقی می ماند. هنگامی که حکاکی نیمه هادی کامل شد، از نوارهای مرطوب برای حذف نور مقاوم استفاده می شود، یک ماده آلی که می تواند باعث ایجاد نقص در سطح ویفر شود.

نرم‌افزار طراحی به کمک کامپیوتر (TCAD) که می‌تواند پوشش چرخشی را شبیه‌سازی کند، فرآیندی که یک بستر را روی سطح اعمال می‌کند، و اپیتاکسی، که تغییرات لایه‌های متالیزاسیون ویفر را حذف می‌کند، نیز موجود است. نرم افزار طراحی به کمک کامپیوتر (TCAD) ممکن است برای مدل سازی پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP) استفاده شود. CMP برای صیقل دادن ویفر نیمه هادی پس از فرآیندهای انتشار، کاشت، رسوب، اکسیداسیون و متالیزاسیون طراحی شده است. این مرحله در فرآیند ساخت نیمه هادی به عنوان مسطح سازی نیز شناخته می شود و سطح ویفر را با اعمال مداری به واسطه دوغاب شیمیایی صاف می کند. پس از پرداخت، لایه بندی اضافی، آزمایش ضربه، مونتاژ و بسته بندی، تمام مراحل پردازش مرطوب نیمه هادی کامل می شود. نرم‌افزار طراحی به کمک کامپیوتر (TCAD) که می‌تواند عملکرد مخازن شستشو، حمام، هود و سیستم‌های تحویل شیمیایی مورد نیاز برای پردازش و ساخت ویفر نیمه‌رسانا را مدل‌سازی کند، در برخی کاربردها استفاده می‌شود.

منبع

globalspec