دوغاب های سطحی مکانیکی شیمیایی (CMP). (Chemical Mechanical Planarization (CMP) Slurries)

دوغاب های مسطح مکانیکی شیمیایی (CMP) از مواد شیمیایی فعال سطحی و دانه های میکرو ساینده در یک پراکندگی مایع تشکیل شده اند.