دستگاه های MEMS (MEMS Devices)
دستگاه های MEMS اجزای مکانیکی، الکترونیک، حسگرها و محرک ها را روی یک ماده نیمه هادی، تراشه یا ویفر یکپارچه می کنند.
دستگاه های MEMS اجزای مکانیکی، الکترونیک، حسگرها و محرک ها را روی یک ماده نیمه هادی، تراشه یا ویفر یکپارچه می کنند.