سیستم های آسیاب یونی (Ion Milling Systems)

سیستم های آسیاب یونی از یک پرتو یونی برای نازک کردن نمونه ها برای میکروسکوپ الکترونی عبوری استفاده می کنند. سیستم‌های پرتو یون متمرکز (FIB) از یک پرتو جریان بالا باریک برای آسیاب کردن مناطق خاص یا از پرتوهای جریان کم برای تصویربرداری نمونه‌ها (FIM) استفاده می‌کنند.