مواد لایه نازک (Thin Film Materials)

مواد لایه نازک مواد و مواد شیمیایی با خلوص بالا مانند گازهای پیش ساز، اهداف کندوپاش یا رشته های تبخیر هستند که برای تشکیل یا اصلاح رسوبات و بسترهای لایه نازک استفاده می شوند.