ابزار اندازه گیری پارامترهای نیمه هادیها (Semiconductor Metrology Instruments)

ابزار اندازه گیری نیمه هادی برای بازرسی خطی ویفر و لایه نازک پس از پردازش نیمه هادی طراحی شده اند. آنها شامل گیج های خازنی، سیستم های C-V، پروب های پرتو الکترونی، بیضی سنج ها، تداخل سنج ها، سیستم I-V، مغناطیس سنج ها، سیستم های نوری، پروفیلومترها، بازتاب سنج ها، پروب های مقاومت، سیستم های RHEED و پراش اشعه ایکس هستند.