منیپولیتورهای خلاء (Vacuum Manipulators)

منیپولیتورهای خلاء شامل اجزایی برای جابجایی یا قرار دادن ویفرها یا اقلام در محفظه‌های خلاء یا سیستم‌هایی مانند دستگاه‌های نصب، قفل‌های بار، میله‌های تکان یا روبات‌های ویفر هستند.