تجهیزات لایه نازک (Thin Film Equipment)

تجهیزات فیلم نازک از پردازش خلاء برای اصلاح سطوح با استفاده از CVD، PVD، اچ پلاسما، و اکسیداسیون حرارتی یا کاشت یون استفاده می‌کنند.