سیستم های توزیع گاز و کابین های گاز (Gas Cabinets and Distribution Systems)

کابینت‌های گاز و سیستم‌های توزیع شامل بخارسازها، کابینت‌های گاز، منیفولدهای گاز، کنترل‌کننده‌های جریان جرمی، دریچه‌ها، سنسورهای فشار و لوله‌های متصل به هم هستند که برای رساندن گازهای فله و ویژه به تجهیزات فرآیندی پیکربندی شده‌اند.