مشخصات قابل جستجو در منابع لایه نازک

منابع لایه نازک شامل مگنترون ها، واحدهای حرارتی تبخیر، پرتوهای یونی و سایر منابعی هستند که مواد رسوبی (بخارها یا یون ها) را در یک سیستم لایه نازک تولید می کنند.