منابع لایه نازک
به روز رسانی شده در ۱۴۰۳/۶/۴ ساعت ۲۳:۲۳:۰۴ زمان مطالعه 10 دقیقه
نمایش همه تولیدکنندگان منابع لایه نازک
منابع لایه نازک شامل مگنترون ها، واحدهای حرارتی تبخیر، پرتوهای یونی و سایر منابعی هستند که مواد رسوبی (بخارها یا یون ها) را در یک سیستم لایه نازک تولید می کنند. یک ماده رسوبی از ته نشین شدن ذرات یا رسوب از محلول یا مخلوط سوسپانسیون یا تولید یک جامد بر روی یک سطح از قبل موجود تولید می شود. مگنترون ها یک نوسان ساز خود تحریک شده هستند که به عنوان یک لوله فرستنده رادار استفاده می شود. کندوپاش مگنترونی پرکاربردترین فرآیند برای رسوب لایه نازک خلاء است. لوله مگنترون بیشتر در اجاق های مایکروویو استفاده می شود. اواپراتور لایه نازک یک عملیات واحد است که عمدتاً برای تغلیظ یک املاح استفاده می شود. فرز پرتو یونی برای ساخت عناصر الکترونیکی و مکانیکی برای کاربردهای صنعتی و نظامی استفاده می شود. منبع فوتون توسط منابع لایه نازک برای روشن کردن واکنش های شیمیایی استفاده می شود.
توابع
منابع لایه نازک به روش های مختلفی کار می کنند. مگنترون ها دارای قدرت پیک بالا، اندازه کوچک، عملکرد کارآمد و ولتاژ کاری کم هستند. الکترون های ساطع شده از مگنترون ها با یک میدان الکتریکی و یک میدان مغناطیسی قوی برای تولید انرژی مایکروویو برهم کنش می کنند. با توجه به اینکه جهت میدان الکتریکی که پرتو الکترونی را شتاب می دهد بر محور میدان مغناطیسی عمود است، مگنترون ها گاهی اوقات به عنوان لوله های میدان متقاطع شناخته می شوند. در فرآیند کندوپاش مگنترون، یون های گاز خارج از پلاسما به سمت هدفی متشکل از موادی که قرار است رسوب کنند، شتاب می گیرند. مواد از هدف پراکنده شده و روی یک بستر در مجاورت قرار می گیرند. اواپراتورهای لایه نازک باید 99% تبخیر را در یک پاس فراهم کنند و در صورت لزوم محلول های رقیق شده را به پودر تبدیل کنند. اواپراتورهای لایه نازک یک فیلم محصول نازک هستند که بر روی سطح انتقال حرارت تولید می شود تا حداقل مقاومت را در برابر انتقال حرارت ایجاد کند. پارامترها به گونه ای تنظیم می شوند که جوشیدن فیلم بهینه در اواپراتورهای لایه نازک اتفاق بیفتد. فرز پرتو یونی اچ ها را با سرعت 3 تا 10 برابر سریعتر از محافظ مقاوم حذف می کند و در نتیجه مواد و ویژگی های زیر رزیست حفظ می شود. منابع لایه نازک، مانند مگنترون ها، به گونه ای طراحی و تولید می شوند که بیشتر مشخصات صنعتی را برآورده کنند.
برنامه های کاربردی
منابع لایه نازک را می توان در کاربردهای مختلف یافت. به عنوان مثال، اواپراتورهای لایه نازک از روش تبخیر برای حذف آب اضافی هنگام تهیه کنسانتره آب پرتقال استفاده می کنند. منابع لایه نازک نیز در مخابرات، تجهیزات تصویربرداری و چاپ، رادار و انتقال سیگنال و تجهیزات زیست پزشکی مورد استفاده قرار می گیرند.
منبع