تجهیزات خلاء ( Vacuum Equipment  )

ابزارآلات اندازه گیری خلاءدستگاه هایی برای اندازه گیری فشار خلاء یا فشار زیر اتمسفر هستند.

ابزارهایی مانند مانیتورهای میکروبالانس کریستال کوارتز (QCM)، بیضی‌سنج‌ها، سیستم‌های RHEED، ایستگاه‌های تصویربرداری، CD-SEM، آسیاب یونی، سیستم‌های C-V که به‌طور خاص برای اندازه‌شناسی ویفر یا پایش درجا پارامترهای لایه نازک در طول پردازش فیلم نازک یا نیمه‌رسانا طراحی شده‌اند.

اون های خلاء اجاق‌های عملیات حرارتی هستند که به جای اتمسفر گاز محافظ، از فشار اتمسفر پایین استفاده می‌کنند. این به کاهش واکنش های سطحی کمک می کند.

سیستم های تکمیل و پوشش، تجهیزات و اجزاء برای تهیه و اعمال رنگ، پوشش های آلی و معدنی بر روی سطوح در کاربردهای صنعتی استفاده می شود.

پمپ های خلاء فشار زیر اتمسفر را برای انواع کاربردهای صنعتی و علمی که در آن نیاز به خلاء است، فراهم می کند.

تجهیزات مورد استفاده برای رسوب لایه های نازک یا اصلاح ترکیب یک سطح؛ به عنوان مثال، از طریق کاشت یون یا فرآیند انتشار نیترید یا کربوریزه کردن.

تله های خلاء، وکیوم گیرنده ها و فیلترهای خلاء برای حذف گازهای ترمپ با سطح سرد شده، غربال مولکولی، فیلتراسیون یا سایر فرآیندها استفاده می شوند.

جاروبرقی ها قادر به جمع آوری مقادیر زیادی از مواد و/یا مایعات هستند. آنها می توانند دستگاه های قابل حمل یا بخشی از یک سیستم خلاء مرکزی باشند.

دریچه‌های دید خلاء و درهای دسترسی اجزایی برای مشاهده، دسترسی یا انتقال نمونه‌ها یا دستگاه‌های پردازش در یک اتاقک یا سیستم خلاء هستند.

سنسورهای خلاء دستگاهی برای اندازه گیری فشار خلاء یا فشار زیر اتمسفر هستند.

سوئیچ های خلاء نوعی سوئیچ فشار هستند که در انتهای خلاء طیف فشار عمل می کنند. آنها فشار خلاء (فشار منفی) را اندازه گیری می کنند.

شیر های خلاء زمانی استفاده می شوند که خلاء باید در یک سیستم بسته نگهداری شود

فلنج ها و اتصالات خلاء لوله ها را در سیستم خلاء یا گاز فرآیندی به سایر بخش های لوله، شیلنگ، شیرها، پمپ ها، محفظه ها یا سایر اجزای خلاء متصل می کنند.

فنجان‌های جاروبرقی و پدهای جاروبرقی با یک شی درگیر می‌شوند و با یک جاروبرقی مهر و موم شده به آن متصل می‌شوند. سپس پدها قطعه کار را در برنامه های مونتاژ یا بازرسی بلند می کنند، حرکت می دهند یا قرار می دهند.

کوره های خلاء کوره های عملیات حرارتی هستند که به جای اتمسفر گاز محافظ از فشار اتمسفر پایین استفاده می کنند. این به کاهش واکنش های سطحی کمک می کند.

تجهیزات کیسه‌بندی وکیوم و تجهیزات تزریق خلاء در ساخت فایبرگلاس و قطعات کامپوزیت برای حذف فضای خالی هوا و تزریق بهتر پارچه تقویت‌کننده با رزین استفاده می‌شود.

تفنگ‌های پرتو یونی و تفنگ‌های پرتو الکترونی پرتوهایی از الکترون‌ها، یون‌ها یا ذرات دیگر را برای استفاده در تجزیه و تحلیل شیمیایی و سطح، فیزیک ذرات، پخت رزین یا ساخت نیمه‌رسانا تولید می‌کنند.

محفظه ها و اجزای خلاء مخازن تخصصی هستند که می توانند محیط فرآیند خلاء بالا را برای تولید فیلم های نازک، میکروالکترونیک، اپتیک و مواد حفظ کنند.

منیپولیتورهای خلاء شامل اجزایی برای جابجایی یا قرار دادن ویفرها یا اقلام در محفظه‌های خلاء یا سیستم‌هایی مانند دستگاه‌های نصب، قفل‌های بار، میله‌های تکان یا روبات‌های ویفر هستند.

اجزایی که امکان انتقال سیال، گاز، حرکت مکانیکی یا نیروی الکتریکی را به یک محفظه جدا شده توسط اختلاف محیطی فراهم می‌کنند. به عنوان مثال، یک فضای محافظ فشار بالا یا خلاء.