نوعی شیر ربع-گرد است که عضو مسدودکننده جریان آن به صورت یک کره سوراخ دار است که حول یک محور عمودی نسبت به جهت جریان سیال دوران می‌نمایدنوع نشیمنگاه می تواند با درجه فشار سوپاپ و مواد ساخت متفاوت باشد. دریچه های توپی در کاربرد خلاء در مقایسه با دریچه ها یا سایر شیرهای خلاء کاربرد وسیعی ندارند زیرا گاز می تواند در المنت بسته کننده به دام بیفتد.

شیرهای پروانه ای دریچه‌های باز شونده سریع هستند که از یک دیسک یا پره فلزی دایره‌ای تشکیل شده‌اند که محورهای محوری آن در زوایای قائم با جهت جریان در لوله قرار دارند، که وقتی روی یک شفت چرخانده می‌شوند، روی صندلی‌های بدنه شیر آب‌بندی می‌شوند. آنها معمولاً به عنوان دریچه های گاز برای کنترل جریان گاز استفاده می شوند. دریچه‌های پروانه‌ای جریان گاز را با استفاده از یک دیسک کنترل می‌کنند که روی یک محور قطری در داخل یک لوله می‌چرخد یا توسط دو صفحه نیم‌دایره‌ای که روی یک دوک مشترک لولا شده‌اند، که جریان را تنها در یک جهت می‌دهد. این شیرها یک حرکت چرخشی ساقه 90 درجه یا کمتر را در یک طراحی فشرده ارائه می دهند. برخلاف شیرهای توپی، دریچه‌های پروانه‌ای هیچ حفره‌ای ندارند که در صورت بسته شدن شیر، گازها در آن محبوس شوند.

کنترل‌کننده‌های رسانایی رسانایی را از طریق سیستم خلاء با تغییر مسیر آزاد متوسطی که مولکول‌های گاز باید طی کنند، تغییر می‌دهند. رسانایی جریان گاز در هر ثانیه در واحد اختلاف فشار است. انسدادها یا محدودیت ها در جریان گاز مولکولی اختلال ایجاد می کنند و رسانایی را کاهش می دهند. کنترل‌کننده رسانایی ممکن است دارای یک سری پره‌های مثلثی، بافل یا یک فلپر دریچه پروانه‌ای باشد که باز یا بسته می‌شود تا جریان گاز را مسدود کند و فشار محفظه را حفظ کند. کنترل کننده های رسانایی دریچه های واقعی نیستند.

شیرهای دیافراگمی از یک دیافراگم انعطاف پذیر برای جداسازی جریان جریان از عنصر بسته کننده استفاده می کنند. دیافراگم، اغلب توسط یک سیال محرک، در تماس با پایین بدنه دریچه قرار می‌گیرد تا قطع شود. دیافراگم همچنین جدایی بین محیط یا گاز تحویلی و سیال محرک را حفظ می کند.

شیرهای اندازه گیری،شیر گاز یا نشتی، جریان گاز را به داخل محفظه یا مخزن فرآیند کنترل می کنند.

شیرهای دروازه (همچنین به عنوان دریچه های چاقویی یا دریچه های کشویی نیز شناخته می شوند) دریچه های حرکتی خطی هستند که در آنها یک عنصر بسته کننده مسطح به داخل جریان جریان می لغزد تا قطع شود. دریچه های دروازه ای و سوپاپ های چاقویی به گونه ای طراحی شده اند که افت فشار در سراسر شیر را در موقعیت کاملا باز به حداقل برسانند، جریان سیال را به طور کامل متوقف کنند و بسته شدن محکمی را ایجاد کنند. دریچه های دروازه می توانند رسانایی بالا یا حداقل افت فشار را در صورت باز شدن کامل ایجاد کنند. شیرهای دروازه ای با پنجره های یکپارچه برای مشاهده، طیف سنجی یا اندازه گیری نوری فرآیندهای داخلی در دسترس هستند.

شیر های خطی درگاه ورودی خود را موازی با درگاه خروجی قرار می دهند، اما لزوماً با درگاه ورودی محوری نیستند.

دریچه های خلاء یا فشار شکن از محفظه ها یا اجزای تشکیل دهنده خلاء یا فشار اضافی محافظت می کنند که در غیر این صورت باعث تغییر شکل یا آسیب به قطعه می شود. برخی از شیرهای خلاء به گونه ای طراحی شده اند که خلاء را تا حد ممکن نزدیک به سطح مورد نظر بدون ایجاد گرمای بیش از حد پمپ حفظ کنند. دریچه خلاء خلاء معمولاً برای خلاء کمتر از حداکثر تنظیم می شود که با اجازه دادن به پمپ درجه ای از گردش هوای داخلی خنک کننده پمپ را فراهم می کند. تنظیم کشش فنر روی شیر معمولاً سطح فشار یا خلاء را کنترل می کند.

دریچه های مستقیم از طریق دریچه ورودی به موازات درگاه خروجی و همچنین محوری با درگاه ورودی قرار دارند. دریچه‌های مستقیم از طریق دریچه ورودی به درگاه خروجی باز می‌شوند.

سایر انواع شیرهای فهرست نشده، تخصصی یا انحصاری مانند شیرهای خلاء تهویه، خون‌رسان، سوزنی یا تخلیه‌کننده.

شیرهای مناسب برای استفاده در خلاء متوسط (کمتر از 1 torr و بیشتر از 10-3 torr). دریچه‌ها در اتاق‌ها یا سیستم‌های خلاء متوسط استفاده می‌شوند که برای کاربردهای خاص جوشکاری و پردازش مناسب هستند.

شیرهای مناسب برای استفاده در خلاء بالا (کمتر از 10-3 torr و بیشتر از 10-8 torr). دریچه های خلاء بالا ممکن است برای آلودگی سطح پخت نیاز به گرمایش داشته باشند.

شیرهای مناسب برای استفاده در خلاء فوق العاده بالا (کمتر از 10-8 torr). دریچه‌های UHV اغلب به گرمایش نیاز دارند تا آلودگی سطح را از بین ببرند.

شیرهای مناسب برای پردازش یا تجزیه و تحلیل با گازها یا اتمسفر داخلی در فشارهای مثبت یا بالاتر از فشار اتمسفر.

محدوده دیگر خلاء یا فشار مشخص نشده است.

فلنج یا نوع اتصال با استفاده از مهر و موم فلزی مانند واشر مسی. مهر و موم های فلزی برای سطوح خلاء بسیار بالا مناسب هستند زیرا حاوی ترکیبات فرار نیستند. نمونه هایی از فلنج ها یا اتصالات با استفاده از مهر و موم تمام فلزی عبارتند از ISO-CF (درزگیر حلقه مسی)، VSRTM (اتصالات Swagelok) یا فلنج های مهر و موم شده با سیم.

فلنج یا فیتینگ با استفاده از مهر و موم الاستومری مانند اورینگ یا واشر. مهر و موم های الاستومری معمولاً برای سطوح خلاء بسیار بالا به دلیل خروج گاز از ترکیبات فرار از مهر و موم مناسب نیستند. مهر و موم اورینگ می تواند در جایی که حرکت مفصل مورد نیاز است مفید باشد. مهر و موم های صورت معمولاً از حلقه های اورینگ استفاده می کنند که در برابر وجه کانکتور مقابل جفت می شوند تا یک مهر و موم تشکیل دهند. بسته به استاندارد، حلقه اورینگ ممکن است روی دماغه رابط رزوه دار نر یا پشت رزوه نر روی وجه مهره پشتی باشد.

ISO یک اتصال فلنج را با ابعاد رابط ساخته شده با مشخصات ISO (سازمان های استاندارد بین المللی) مانند سیستم های فلنج ISO-BF، ISO-CF، ISO-KF، ISO-QF یا ISO MF تعیین می کند.

ANSI ASA یک اتصال فلنج پیچ دار با ابعاد رابط است که مطابق با مشخصات ANSI (موسسه استاندارد ملی آمریکا) ساخته شده است. پیچ های موجود در فلنج، انتهای فلنج را به هم می کشند و یک مهر و موم بین اورینگ و وجه فلنج ایجاد می کنند. فلنج های ASA به صورت جفت با یک فلنج صاف و صاف و فلنج با صفحه شیار برای نگه داشتن اورینگ استفاده می شود.

یک یا چند پورت رشته NPT زن.

اتصالات Conflat یک اتصال پیچی اختصاصی Varian Associates است. پیچ‌ها در فلنج انتهای فلنج‌ها را به هم می‌کشند و یک مهر و موم بین فلز مرکزی یا واشر و وجه‌های فلنج ایجاد می‌کنند. واشر فلزی یک مهر و موم مناسب برای کاربردهای خلاء زیاد و فوق العاده بالا فراهم می کند. درزگیرهای واشر الاستومری برای بررسی نشت و خلاء کمتر و کاربردهای پخته نشده مناسب هستند.

اتصالات Del-Seal یک اتصال پیچ اختصاصی شرکت MDC Vacuum Products است. پیچ‌های موجود در فلنج انتهای فلنج را به هم می‌کشند و یک مهر و موم بین واشر فلزی مرکزی و وجه‌های فلنج ایجاد می‌کنند. فلنج های Pyraflat با واشر مسی می توانند نشتی 10-13 torr را در دمای تا 450 درجه سانتیگراد ایجاد کنند. فلنج های Del-Seal با فلنج های Conflat® سازگار هستند.

اتصالات Pyraflat TM یک اتصال پیچ اختصاصی آزمایشگاه Thermionics, Inc است. اتصالات PyraflatTM یک آب بندی ConflatTM مانند در فلنج های مستطیلی، مثلثی، ذوزنقه ای یا نامنظم ایجاد می کند. پیچ‌های موجود در فلنج انتهای فلنج را به هم می‌کشند و یک مهر و موم بین واشر مسی یا الاستومری مرکزی و وجه‌های فلنج ایجاد می‌کنند. اورینگ توسط یک نگهدارنده مرکزی یا حلقه مرکزی در جای خود ثابت می شود. فلنج های Pyraflat با واشر مسی می توانند در دمای 196- تا 500 درجه سانتیگراد نشتی 10-13 torr ایجاد کنند.

اتصالات Tri-SealTM یک اتصال پیچی اختصاصی شرکت A&N است. اتصالات Tri-SealTM دارای یک سیستم فلنج منحصر به فرد است که مانند ISO-KF عمل می کند اما واشرهای فلزی را برای کاربردهای خلاء فوق العاده بالا در خود جای می دهد. پیچ‌های موجود در فلنج انتهای فلنج را به هم می‌کشند و یک مهر و موم بین واشر مسی یا الاستومری مرکزی و وجه‌های فلنج ایجاد می‌کنند. اورینگ توسط یک نگهدارنده مرکزی یا حلقه مرکزی در جای خود ثابت می شود. فلنج های Tri-Seal با واشرهای مسی می توانند نشتی را تا 10-13 torr یا تا 300 psi فراهم کنند. فلنج های Tri-Seal با مهر و موم الاستومری می توانند سفتی نشتی را تا 10-9 std فراهم کنند. سی سی در ثانیه یا حداکثر 300 psi.

اتصالات VCO® و VCR® اتصالات رزوه ای اختصاصی Swagelok هستند که برای کاربردهای خلاء طراحی شده اند. اتصالات VCO® از مهر و موم اورینگ استفاده می کنند. اتصالات VCR® از مهر و موم فلزی یا واشر الاستومری استفاده می کنند.

سایر انواع فلنج یا اتصالات ذکر نشده مانند

ISO یا NW 16 یک هندسه استاندارد فلنج (شناسه صندلی صورت 17 میلی متر، 30 میلی متر OD) را برای اجزای خلاء تعریف می کند به طوری که زانوها، سه راهی ها، صلیب ها و سوپاپ ها با اندازه معین سازگار هستند و می توانند در یک سیستم تعویض شوند. NW 16 در قطعات فلنج گیره دار کوچکتر استفاده می شود و برخی از تولیدکنندگان محصولات خود را به عنوان QF16، KF16 یا ISO 16 فهرست می کنند.

ISO یا NW 20 یک هندسه استاندارد فلنج را برای اجزای خلاء تعریف می کند به طوری که زانوها، سه راهی ها، صلیب ها و شیرهای با اندازه معین سازگار هستند و می توانند در یک سیستم تعویض شوند. NW 20 در قطعات فلنج گیره دار کوچکتر استفاده می شود و برخی از تولیدکنندگان محصولات خود را به عنوان QF20، KF20 یا ISO 20 فهرست می کنند.

ISO یا NW 25 یک هندسه استاندارد فلنج (شناسه صندلی صورت 26 میلی متر، 40 میلی متر OD) را برای اجزای خلاء تعریف می کند به طوری که زانوها، سه راهی ها، صلیب ها و سوپاپ ها با اندازه معین سازگار هستند و می توانند در یک سیستم تعویض شوند. NW 25 در قطعات فلنج گیره دار کوچکتر استفاده می شود و برخی از تولیدکنندگان محصولات خود را به عنوان QF25، KF25 یا ISO 25 فهرست می کنند.

ISO یا NW 32 هندسه فلنج استاندارد شده ای را برای اجزای خلاء تعریف می کند به طوری که زانوها، سه راهی ها، صلیب ها و شیرهای با اندازه معین سازگار هستند و می توانند در یک سیستم تعویض شوند. NW 32 در قطعات فلنج گیره دار کوچکتر استفاده می شود و برخی از تولیدکنندگان محصولات خود را به عنوان QF32، KF32 یا ISO 32 فهرست می کنند.

ISO یا NW 40 یک هندسه استاندارد فلنج (شناسه صندلی صورت ۴۱ میلی‌متری، ۵۵ میلی‌متر OD) را برای اجزای خلاء تعریف می‌کند، به طوری که زانوها، سه راهی‌ها، صلیب‌ها و سوپاپ‌ها با اندازه معین سازگار هستند و می‌توانند در یک سیستم تعویض شوند. NW 40 در قطعات فلنج گیره دار کوچکتر استفاده می شود و برخی از تولیدکنندگان محصولات خود را به عنوان QF40، KF40 یا ISO 40 فهرست می کنند.

ISO یا NW 50 یک هندسه فلنج استاندارد شده (شناسه صندلی صورت ۴۱ میلی‌متری، ۵۵ میلی‌متر OD) را برای اجزای خلاء تعریف می‌کند، به طوری که زانوها، سه راهی‌ها، صلیب‌ها و سوپاپ‌ها با اندازه معین سازگار هستند و می‌توانند در یک سیستم تعویض شوند. NW 50 در قطعات فلنج گیره دار کوچکتر استفاده می شود و برخی از تولیدکنندگان محصولات خود را به عنوان QF50، KF50 یا ISO 50 فهرست می کنند.

اندازه سوراخ اسمی فلنج (یا برای لوله های OD) 63 میلی متر یا 2.5 اینچ است.

اندازه دهانه فلنج اسمی (یا برای لوله های OD) 80 میلی متر یا 3 اینچ است.

اندازه سوراخ اسمی فلنج (یا برای لوله های OD) 100 میلی متر یا 4 اینچ است.

اندازه سوراخ اسمی فلنج (یا برای لوله های OD) 120 میلی متر یا 4.75 اینچ است.

اندازه دهانه فلنج اسمی (یا برای لوله های OD) 160 میلی متر یا 6 اینچ است.

اندازه دهانه فلنج اسمی (یا برای لوله های OD) 200 میلی متر یا 8 اینچ است.

اندازه سوراخ اسمی فلنج (یا برای لوله های OD) 250 میلی متر یا 10 اینچ است.

اندازه دهانه فلنج اسمی (یا برای لوله های OD) 320 میلی متر یا 14 اینچ است.

اندازه اسمی سوراخ فلنج (یا برای لوله های OD) 400 میلی متر یا 16 اینچ است.

اندازه سوراخ اسمی فلنج (یا برای لوله های OD) 500 میلی متر یا 20 اینچ است.

اندازه دهانه فلنج اسمی (یا برای لوله های OD) 630 میلی متر یا 24 اینچ است.

اندازه دهانه فلنج اسمی (یا برای لوله های OD) 800 میلی متر یا 32 اینچ است.

اندازه سوراخ اسمی فلنج (یا برای لوله های OD) 1000 میلی متر یا 40 اینچ است.

محصولات با ویژگی انتخاب شده به عنوان منطبق برگردانده می شوند. خروج یا انتخاب "بدون ترجیح" معیارهای جستجو برای این سوال را محدود نمی کند. محصولات با تمام گزینه های ویژگی به عنوان منطبق برگردانده می شوند.

مهر و موم الاستومری / O-ring

سایر نوع مهر و موم صندلی سوپاپ ذکر نشده است

سوپاپ با انرژی دادن به یک شیر برقی فعال می شود.

دریچه با انرژی دادن به یک دستگاه پیزوالکتریک فعال می شود. این عملگرها معمولاً برای اندازه‌گیری بسیار دقیق گاز، کنترل جریان یا برنامه‌های نشتی استفاده می‌شوند.

سوپاپ با انرژی دادن به موتوری که دسته، اهرم یا جزء سوپاپ را می چرخاند یا حرکت می دهد، فعال می شود.

شیری که توسط فشار هوا یا پنوماتیک فعال می شود مانند سیلندر هوا که دسته، اهرم یا جزء سوپاپ را می چرخاند یا حرکت می دهد.

دریچه ای که توسط دستگاه الکتروپنوماتیکی فعال می شود. محرک الکتروپنوماتیکی از یک سیلندر هوا در ترکیب با یک شیر برقی کنترل شده استفاده می کند که جریان هوا را به داخل یا خارج از سیلندر کنترل می کند.

سایر نوع فعال سازی فهرست نشده، تخصصی یا اختصاصی.

رسانایی جریان گاز در هر ثانیه در واحد اختلاف فشار است. انسدادها یا محدودیت ها در جریان گاز مولکولی اختلال ایجاد می کنند و رسانایی را کاهش می دهند. شیرهای کاملا باز یا رسانایی بالا به گونه ای طراحی شده اند که دارای حداقل انسداد یا محدودیت باشند.

شیر دروازه یا سایر شیر خلاء با یک پنجره یکپارچه برای مشاهده، طیف‌سنجی یا اندازه‌گیری نوری فرآیندهای داخلی.

شیرفلکه با چند مرحله

نشانگر دیداری، شنیداری یا الکترونیکی که نشان می دهد دریچه باز، بسته است یا میزان بسته شدن آن.

شیر سه راهی یا شیر مجهز به پورت‌های سخت که اجازه می‌دهد پمپ مکانیکی قبل از رسیدن به شرایط خلاء بالا پایین بیاید.

همه محصولات با هر یک از ویژگی های انتخاب شده به عنوان منطبق برگردانده می شوند. بدون علامت گذاشتن تمام کادرها، معیارهای جستجو برای این سوال را محدود نمی کند. محصولات با تمام گزینه های ویژگی به عنوان منطبق برگردانده می شوند.

مکانیزم ایمن با استفاده از فنر برای باز کردن شیر هنگام قطع برق.

مکانیسم ایمن خرابی با استفاده از یک تکنیک خاص یا اختصاصی برای فعال کردن شیر هنگام وقوع قطع برق.