تجهیزات فرآیند مرطوب نیمه هادی

اطلاعات تجهیزات فرآیند مرطوب نیمه هادی

نمایش تمام سازندگان تجهیزات فرآیند مرطوب نیمه هادی

تجهیزات فرآیند مرطوب نیمه هادی برای موارد زیر در تولید نیمه هادی و میکروالکترونیک استفاده می شود:

• حکاکی کردن

• شستشو

• پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP)

• پوشش چرخشی 

تامین کنندگان تجهیزات پردازش مرطوب نیمه هادی تجهیزات ریسندگی و پرداخت مکانیکی و همچنین مخازن شستشو، حمام ها، هودها و سیستم های تحویل شیمیایی مورد نیاز برای پردازش و ساخت ویفر نیمه هادی را ارائه می دهند. انتخاب تجهیزات فرآیند مرطوب نیمه هادی نیازمند تجزیه و تحلیل هزینه ها و قابلیت های تامین کننده و همچنین درک فرآیند تولید نیمه هادی است.

امکانات

تجهیزات فرآیند مرطوب نیمه هادی برای تشکیل شمش های سیلیکونی که به صورت ویفرهای نازک بریده می شوند، استفاده می شود. برای ایجاد لایه‌های اضافی، تولیدکنندگان نیمه‌رسانا از پوشش چرخشی استفاده می‌کنند، فرآیندی که یک بستر را روی یک سطح اعمال می‌کند. هنگامی که سطح چرخانده می شود، بستر از طریق نیروی گریز از مرکز توزیع می شود. اپیتاکسی، مرحله بعدی در فرآیند ساخت نیمه هادی، تغییرات در لایه های فلزی شدن ویفر را حذف می کند. فوتولیتوگرافی تصویری را روی یک فتوریست ثبت می کند که از طریق نوردهی در دمای بالا اکسید می شود. تجهیزات فرآیند مرطوب نیمه هادی نیز برای حکاکی و شستشو استفاده می شود. پردازش مرطوب، اکسید را از مناطقی از ویفر که فاقد الگوی لیتوگرافی هستند، جدا می‌کند و موانع اکسیدی را برای جلوگیری از آلودگی سیلیکون زیرین در طی فرآیندهای بعدی باقی می‌گذارد. هنگامی که حکاکی نیمه هادی کامل شد، از نوارهای مرطوب برای حذف نور مقاوم استفاده می شود، یک ماده آلی که می تواند باعث ایجاد نقص در سطح ویفر شود.

پس از اعمال لایه های اکسید آلومینیوم و دی الکتریک، از تجهیزات فرآیند مرطوب نیمه هادی برای پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP) استفاده می شود. CMP برای صیقل دادن ویفر نیمه هادی پس از فرآیندهای انتشار، کاشت، رسوب، اکسیداسیون و متالیزاسیون طراحی شده است. این مرحله در فرآیند ساخت نیمه هادی به عنوان مسطح سازی نیز شناخته می شود. با استفاده از تجهیزات فرآیند مرطوب نیمه هادی، سطح ویفر را با اعمال مداری با دوغاب شیمیایی صاف می کند. پس از پرداخت، لایه بندی اضافی، تست ضربه، مونتاژ و بسته بندی اتفاق می افتد و تمام مراحل پردازش مرطوب نیمه هادی کامل می شود.

منبع

globalspec.com