تجهیزات تولید نیمه هادی (Semiconductor Manufacturing Equipment)

ابزار اندازه گیری نیمه هادی برای بازرسی خطی ویفر و لایه نازک پس از پردازش نیمه هادی طراحی شده اند. آنها شامل گیج های خازنی، سیستم های C-V، پروب های پرتو الکترونی، بیضی سنج ها، تداخل سنج ها، سیستم I-V، مغناطیس سنج ها، سیستم های نوری، پروفیلومترها، بازتاب سنج ها، پروب های مقاومت، سیستم های RHEED و پراش اشعه ایکس هستند.

ابزارها و تجهیزات خوشه نیمه هادی برای پردازش ویفرهای نیمه هادی برای تولید قطعات میکروالکترونیک استفاده می شود.

اتاق‌های تمیز محیط‌های بدون آلودگی هستند که در آن‌ها تولید و مونتاژ با فناوری پیشرفته انجام می‌شود.

تجهیزات فرآیند مرطوب نیمه هادی انواع کاربردهای پردازش مرطوب از جمله اچ کردن، شستشو، پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP) و پوشش چرخشی را در تولید نیمه هادی یا میکروالکترونیک انجام می دهند.

تجهیزات و لوازم اتاق های تمیز شامل پوشاک، کفپوش، روشنایی، کانال کشی و سایر مواردی است که در تنظیمات اتاق تمیز استفاده می شود.

دوش های هوا از جت های هوای فیلتر شده برای تمیز کردن آلودگی ذرات از پرسنل و تجهیزات در هنگام ورود به محیط تمیز استفاده می کنند.

باندهای سیم نیمه هادی و گوه شامل ابزارهایی برای اتصال قالب و اتصال سیم هستند. آنها برای اتصال و اتصال یک قالب نیمه هادی یا تراشه آی سی به یک بسته یا بستر استفاده می شوند. ابزارهای باندینگ قالب شامل مویرگ‌های باندینگ، گوه‌های باندینگ، میله‌های EFO، کلت‌های اتصال قالب، ابزارهای برشی قالب، پین‌های اجکتور یا سوزن‌های فشار بالا، ابزارهای تراشه‌دار، ابزارهای ضربه‌زنی، سوزن‌های فشاری (فلفل‌دان) و ابزارهای زبانه (microBGA، وافل) هستند. .

گذرگاه های اتاق تمیز شامل یک محفظه قفل هوای کوچک با دو در است و به تجهیزات و پرسنل اجازه ورود به اتاق تمیز را می دهد و در عین حال از آلودگی ذرات محیط تمیز جلوگیری می کند.

میز تمیز یک نیمکت آزمایشگاهی سرپوشیده است که برای جلوگیری از آلودگی و آلودگی با کنترل و حفظ سطح پاکیزگی هوا در یک نقطه خاص طراحی شده است. این یک نوع کابینت جریان هوای آرام (همچنین به عنوان هود کشت بافت شناخته می شود) است.