تجهیزات پردازش MEMS (MEMS Processing Equipment)
تجهیزات پردازش MEMS برای ایجاد سنسورها و ویفرهای سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) استفاده می شود.
تجهیزات پردازش MEMS برای ایجاد سنسورها و ویفرهای سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) استفاده می شود.