ابزارهای خوشه ای نیمه هادی (Semiconductor Cluster Tools)
ابزارها و تجهیزات خوشه نیمه هادی برای پردازش ویفرهای نیمه هادی برای تولید قطعات میکروالکترونیک استفاده می شود.
ابزارها و تجهیزات خوشه نیمه هادی برای پردازش ویفرهای نیمه هادی برای تولید قطعات میکروالکترونیک استفاده می شود.