خانهتجهیزات و کالای صنعتیتجهیزات تولید صنعتی و ماشین آلاتتجهیزات خلاءتجهیزات لایه نازکابزارهای خوشه نیمه هادی
ابزارهای خوشه نیمه هادی (Semiconductor Cluster Tools)
ابزارها و تجهیزات خوشه نیمه هادی برای پردازش ویفرهای نیمه هادی برای تولید قطعات میکروالکترونیک استفاده می شود.